田扬超
【姓名】 田扬超
【职称】 研究员;教授;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】 LIGA技术和MEMS研究
【发表文献关键词】 接近式光刻,Ni-PTFE,接触式光刻,标量衍射理论,菲涅耳衍射,计算机模拟,塑铸,模具,LIGA,离子束刻蚀,二次效应,光强,光刻胶,入射,微结构,离子束,入射角,模拟结果,SU-8,菲涅耳衍射,紫...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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中国期刊全文数据库    共找到83篇
[1]田扬超;关勇;吴朝;刘刚;.高分辨X射线成像在电池材料结构分析中的应用[J]中国科学:化学.2023,(11)
[2]江琦;刘建宏;关勇;白浩波;刘刚;田扬超;.一种针对不完善数据的基于全变分约束的相干衍射算法（英文）[J]中国科学技术大学学报.2020,(04)
[3]欧阳春宝;王艺;熊瑛;刘刚;田扬超;.莫尔放大器的高阶莫尔成像特征分析[J]光学学报.2019,(12)
[4]王艺;侯双月;熊瑛;田扬超;刘刚;.大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺[J]光学精密工程.2020,(03)
[5]吴朝;魏文彬;高昆;田扬超;.快速高能X射线光栅相衬成像[J]红外与激光工程.2019,(08)
[6]江琦;关勇;刘建宏;田扬超;.一种相干衍射重构算法模拟论证方法[J]新技术新工艺.2019,(10)
[7]骆荣辉;吴朝;田扬超;.基于投影的X射线光栅相衬成像系统的仿真模拟[J]中国医学物理学杂志.2017,(11)
[8]李法虎;关勇;熊瑛;张晓波;刘刚;田扬超;.基于软X射线成像菲涅耳波带片精确光学传递函数的离焦图像恢复[J]中国科学技术大学学报.2017,(11)
[9]Wali Faiz;鲍园;高昆;吴朝;卫晨希;昝贵彬;朱佩平;田扬超;.Noise analysis of grating-based x-ray differential phase-contrast imaging with angular signal radiography[J]Chinese Physics B.2017,(04)
[10]关勇;梁知挺;刘刚;田扬超;.软X射线纳米CT综述[J]中国科技论文.2017,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到5篇
[1]郭育华;刘刚;田扬超;.NSRL的同步辐射X射线深度光刻技术[A].光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集.2006-11-27
[2]朱学林;郭育华;王俊;刘刚;阚娅;田扬超;.PMMA面键合的热压法工艺研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[3]郭育华;刘刚;朱学林;王俊;阚娅;田扬超;.热模压成形技术中的脱模研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[4]王俊;郭育华;朱学林;刘刚;田扬超;.陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[5]黄承超;徐垚;王占山;陈玲燕;田扬超;刘刚;.SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
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承担国家科研项目    共找到2个
[1]田扬超;.同步辐射X射线显微成像波带制作关键技术研究[A].中国科学技术大学;.项目经费 35万元.2006-03-27.资助文献数 3 篇
[2]田扬超;.LIGA技术制作高性能微电子机械模具研究[A].中国科学技术大学;.项目经费 18万元.2003-03-31.资助文献数 5 篇
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