沈蓓军
【姓名】 沈蓓军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 线宽测量,LIGA工艺,光学计,光刻,电视线,激光,激光LIGA,微夹钳,玻璃吸附针尖,深层光刻,组装技术,量仪,微机械,设计与检测,微机械手,光刻镜头,工艺实验,CDMS,测量仪,准分子激光,微细加...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海嘉定
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[1]沈蓓军，丁生华，邹海兴，路敦武，杨良民.CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测[J]光学精密工程.1994,(01)
[2]沈蓓军，王润文，路敦武，黄惠杰.激光LIGA工艺实验设计[J]功能材料与器件学报.1996,(03)
[3]路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民.几种微机械系统组装技术[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
[4]沈蓓军,王润文,路敦武,黄惠杰.准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用[J]光学精密工程.1998,(02)
[5]沈蓓军;邹海兴;.CDMS—1型电视线宽测量仪总体设计[J]光学仪器.1993,(06)
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