于中尧
【姓名】 于中尧
【职称】 工程师;
【研究领域】 自动化技术;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 MEMS半导体工艺研究
【发表文献关键词】 有限元方法,微结构气敏传感器,温度调制方式,银,硅谐振梁,微电子机械加工技术,气敏传感器,压力传感器,膜片,MEMS技术,SnO_2薄膜,微结构,薄膜电阻,传感器设计,结构设计,电学特性,生物芯片,气...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]陈德勇,崔大付,王利,于中尧,韩泾鸿.微型硅谐振式压力传感器的研制[J]传感器技术.2001,(02)
[2]赵湛,崔大付,于中尧,王利.基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究[J]传感器技术.2001,(06)
[3]陈德勇,崔大付,于中尧,王利.微机械氮化硅梁谐振式压力传感器[J]机械强度.2001,(04)
[4]高晓光,李建平,王悦,于中尧,王利.SnO_2和SnO_2-Ag薄膜的电学特性[J]真空科学与技术.2001,(01)
[5]高晓光,李建平,何秀丽,于中尧,王利.Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能[J]微细加工技术.2002,(01)
[6]高晓光,李建平,于中尧,朱敏慧.有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用[J]测控技术.1999,(10)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]陈德勇;崔大付;王利;于中尧;韩泾鸿;.微型硅谐振式压力传感器研制[A].2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集.2000-07-01
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