龚超
【姓名】 龚超
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】 微传感器和微机电系统
【发表文献关键词】 电场传感器,电场探测,微电子机械系统,微型,电场,MEMS技术,感应电荷,旋片,深反应离子刻蚀,微机电系统,阳极键合,绝缘体上硅,DRIE,振动膜,感器,MEMS,驱动模式,空中电场,传感器,聚酰亚胺...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京中国
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中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]裴强,夏善红,龚超,白强,陈绍凤.基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]白强,夏善红,陈绍凤,裴强,龚超.新型旋片式空中电场传感器及应用[J]电子与信息学报.2004,(04)
[3]邓凯,夏善红,龚超,白强,陈绍凤.基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究(英文)[J]纳米技术与精密工程.2004,(04)
[4]龚超,夏善红,邓凯,白强,陈绍凤.聚酰亚胺振动膜微型电场传感器[J]微纳电子技术.2004,(12)
[5]龚超,邓凯,陶虎,白强,陈绍凤,夏善红.多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器[J]电子器件.2005,(01)
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中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]彭春荣;龚超;陈贤祥;陶虎;白强;罗蕾;夏善红;.静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[2]龚超;陶虎;白强;陈绍凤;夏善红;.交错振动式微型电场传感器[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[3]叶超;龚超;陈贤祥;彭春荣;陈绍凤;夏善红;.一种热驱动微型电场传感器设计与仿真[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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