薛虹
【姓名】 薛虹
【职称】 高级工程师;副研究员;
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;自动化技术;
【研究方向】 电子束曝光机系统的研究
【发表文献关键词】 电子束曝光机,图形数据格式,压缩算法,版图描述语言,CIF语言,数据转换,递归下降法,内环,中间图形,版图切割,系统软件,工件台,A型,多边形,曝光机,图形转移,图形发生器,软件开,单元图形,DSP,...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]邓卫梅;薛虹;陈代谢;殷伯华;韩立;.大范围快速AFM的高速高精度控制系统[J]仪表技术与传感器.2015,(01)
[2]王蕴;薛虹;韩立;.基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计[J]现代科学仪器.2011,(02)
[3]孔祥东;韩立;初明璋;薛虹;.基于电子束曝光的微区加热技术[J]纳米技术与精密工程.2011,(05)
[4]孔祥东;戴倩;韩立;冯庆荣;初明璋;薛虹;李建国;.电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的可行性研究[J]真空科学与技术学报.2012,(08)
[5]宋志;魏淑华;薛虹;韩立;.基于VC++6.0的电子束曝光控制系统[J]微计算机信息.2009,(04)
[6]李勇滔;韩立;薛虹;殷伯华;刘俊标;.基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计[J]电子工业专用设备.2009,(04)
[7]吴震;薛虹;段守胜;李勇滔;.基于超声电机的微机械臂系统[J]现代科学仪器.2009,(04)
[8]殷伯华;方光荣;刘俊标;靳鹏云;薛虹;吕士龙;.小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文)[J]纳米技术与精密工程.2010,(04)
[9]张波;薛虹;.微纳米加工过程中环境因素对精确定位的影响[J]航空精密制造技术.2007,(05)
[10]张波;薛虹;.环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究[J]微细加工技术.2007,(05)
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[1]孔祥东;戴倩;韩立;冯庆荣;初明璋;薛虹;李建国;.电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的可行性研究[A].TFC'11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2011-08-25
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