司卫华
【姓名】 司卫华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掩模缺陷,光掩模,激光修整,纳米压印,压印图形,图形精度,模版,聚合物,激光器,工艺实验,修版,激光泵浦灯,激光气化,抗蚀层,电压,热压印,预燃,脉冲宽度,激光照射,多余的,物镜,模板,相互作用,压印...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京中国
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]司卫华;董晓文;顾文琪;.精密光掩模的激光修整技术[J]激光与红外.2006,(04)
[2]司卫华;董晓文;顾文琪;.纳米压印技术的工艺和图形精度研究[J]半导体光电.2006,(04)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]董晓文;司卫华;顾文琪;.纳米压印光刻技术及其设备研制[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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