尚淑珍
【姓名】 尚淑珍
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 紫外材料与193nm薄膜的研究
【发表文献关键词】 激光损伤,光学损耗,阈值,MgF2,反射薄膜,电子束热蒸发,193nm,Al_2O_3薄膜,真空退火,膜料,Al2O3,光学常数,光刻机,微结构,光学薄膜,高反膜,退火温度,性能影响,反射膜,吸收损耗...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 北京中国
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/5 5 3 4 53 1278
中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]尚淑珍;易葵;邵建达;范正修;.光刻机系统中193nm薄膜的研究进展[J]激光与光电子学进展.2006,(01)
[2]尚淑珍;邵建达;沈健;易葵;范正修;.退火对电子束热蒸发193nm Al_2O_3/MgF_2反射膜性能的影响[J]物理学报.2006,(05)
[3]占美琼,黄建兵,尚淑珍,贺洪波,邵建达.真空退火对355nmAl_2O_3/MgF_2高反射薄膜性能的影响[J]强激光与粒子束.2004,(11)
[4]尚淑珍,易葵,侯海虹,张大伟,邵建达,范正修.高反射率193nm Al_2O_3/MgF_2反射膜的实验研究[J]中国激光.2005,(05)
[5]尚淑珍,廖春艳,易葵,张东平,范正修,邵建达.退火对电子束热蒸发Al_2O_3薄膜性能影响的实验研究[J]强激光与粒子束.2005,(04)
更多