路敦武
【姓名】 路敦武
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 物理学;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】 激光和半导体设备的研究与开发
【发表文献关键词】 无规位相板,均匀辐照,复杂波面,靶面,光刻,掩模,激光全息,光强分布,峰间距,粉尘,离焦,相单元,粉尘浓度测量仪,位相板,悬浮颗粒物,斜照明,光散射,激光全息光刻,透镜焦面,散射函数,接近式光刻,微电...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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[1]黄惠杰,翟俊辉,任冰强,杨瑞馥,赵永凯,程兆谷,杜龙龙,路敦武.光纤倏逝波生物传感器及其应用[J]光学学报.2003,(04)
[2]任冰强,黄惠杰,张维新,赵永凯,韩广礼,杜龙龙,王树森,路敦武.光学元件损伤在线检测装置及实验研究[J]强激光与粒子束.2004,(04)
[3]黄惠杰,翟俊辉,赵永凯,杨瑞馥,任冰强,程兆谷,杜龙龙,路敦武.多探头光纤倏逝波生物传感器及其性能研究[J]中国激光.2004,(06)
[4]黄惠杰,路敦武,王润文,赵永凯,刘增水.1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试[J]强激光与粒子束.2000,(01)
[5]赵永凯,黄惠杰,路敦武,杜龙龙,杨良民,袁才来,蒋宝财,王润文.接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析[J]微细加工技术.2001,(02)
[6]黄惠杰,赵永凯,任冰强,程兆谷,杜龙龙,路敦武.尘埃粒子的半导体激光散射测量[J]中国激光.2002,(12)
[7]黄惠杰,路敦武,赵永凯,杜龙龙.光学粉尘浓度测量仪响应特性曲线的计算与分析[J]光学仪器.1999,(06)
[8]路敦武,黄惠杰.激光全息用于微电子领域发展潜力的简析[J]激光与光电子学进展.1999,(S1)
[9]沈蓓军,丁生华,邹海兴,路敦武,杨良民.CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测[J]光学精密工程.1994,(01)
[10]路敦武,黄惠杰,鄢雨,杜龙龙,高瑞昌.深亚微米激光光刻研究[J]光学学报.1996,(08)
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