李艳秋
【姓名】 李艳秋
【职称】 教授;研究员;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】 微纳技术及应用、材料物理及微电子设备关键技术研究
【发表文献关键词】 浸没式,离轴照明,极紫外光刻,工件台,铁电薄膜,热释,溶胶-凝胶,光刻胶,剥离工艺,电极,真空,铁电性,四极照明,杂散光,偏振方向,Prolith9.0,浸没光刻,PST薄膜,工艺窗口,电性,性能研究...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]于红云;李艳秋;尚永红;苏波;.光伏-温差混合能源的优化设计与实验研究[J]太阳能学报.2009,(04)
[2]苏波;李艳秋;于红云;尚永红;.基于无线传感器节点的能量管理系统[J]太阳能学报.2009,(08)
[3]赵国荣;李艳秋;.电子束曝光模拟中电子弹性散射的新模型[J]微细加工技术.2006,(02)
[4]张飞;李艳秋;.浸没式ArF光刻中杂散光影响的研究[J]微细加工技术.2006,(02)
[5]张飞;李艳秋;.浸没式ArF光刻系统中光学因素对L形图形的影响[J]微细加工技术.2006,(03)
[6]周鹏飞;李艳秋;尚永红;.EUV掩模版在曝光过程中的热变形[J]微细加工技术.2006,(04)
[7]张福昌;李艳秋;.EUV光刻中激光等离子体光源的发展[J]微细加工技术.2006,(05)
[8]刘景峰;李艳秋;刘克;.移相式点衍射干涉仪的几个关键技术[J]仪器仪表学报.2007,(S1)
[9]樊明哲;李艳秋;.浸没式ArF曝光过程中液体热性能分析[J]微细加工技术.2007,(03)
[10]孙知渊;李艳秋;.分辨力增强技术的频谱分析[J]光学学报.2007,(10)
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中国重要会议全文数据库    共找到9篇
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[2]刘少波;李艳秋;.弛豫性PMN/PT铁电致冷材料的制备及电生热效应研究[A].科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集.2004-06-30
[3]张飞;李艳秋;.四极照明光刻成像质量仿真研究[A].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004-06-30
[4]黄国胜;李艳秋;.掩模台和承片台的运动标准偏差对ArF光学成像质量的影响[A].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004-06-30
[5]徐彧;李艳秋;.中心遮拦(Obscuration)对157nm光刻性能的影响[A].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004-06-30
[6]尚永红;李艳秋;张清涛;刘少波;.多级MEMS铁电制冷器有限元分析[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[7]张清涛;李艳秋;尚永红;刘少波;.0.9Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.1PbTiO_3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[8]刘景峰;李艳秋;刘克;.移相式点衍射干涉仪的几个关键技术[A].2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（一）.2007-06-01
[9]刘克;李艳秋;刘景峰;.带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合[A].第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集.2008-07-01
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