顾文琪
【姓名】 顾文琪
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;材料科学;
【研究方向】 电子束曝光技术研究
【发表文献关键词】 掩模缺陷,光掩模,激光修整,纳米压印,压印图形,图形精度,模版,聚合物,激光器,图形发生器,扫描电子显微镜,点阵成像原理,修版,工艺实验,激光泵浦灯,激光气化,聚焦离子束,多离子束聚焦投影,掩模板,纳...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/60 19 7 2 141 9919
中国期刊全文数据库    共找到55篇
[1]司卫华;董晓文;顾文琪;刘泽文;.基于OG154的紫外纳米压印研究[J]半导体光电.2010,(02)
[2]马向国;顾文琪;.温度对Ga离子源发射特性的影响研究[J]真空科学与技术学报.2010,(03)
[3]司卫华;董晓文;顾文琪;.精密光掩模的激光修整技术[J]激光与红外.2006,(04)
[4]司卫华;董晓文;顾文琪;.纳米压印技术的工艺和图形精度研究[J]半导体光电.2006,(04)
[5]刘伟;魏淑华;方光荣;顾文琪;.图形发生器的成像系统[J]微细加工技术.2006,(03)
[6]李文萍;顾文琪;.纳米制造和测量技术产业化的研究[J]光电工程.2006,(12)
[7]马向国;刘同娟;顾文琪;.聚焦离子束装置中的工件台及控制系统[J]电子工业专用设备.2007,(03)
[8]董晓文;司卫华;顾文琪;.应用传统紫外光刻机进行紫外压印[J]电子工业专用设备.2007,(03)
[9]马向国;刘同娟;顾文琪;.液态金属镓离子源的制备[J]微细加工技术.2007,(01)
[10]马向国;刘同娟;顾文琪;.聚焦离子束组合装置及应用[J]微纳电子技术.2007,(06)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到4篇
[1]康念坎;王理明;顾文琪;张福安;.用于缩小投影曝光的反对称双磁透镜设计[A].'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集.2001-11-01
[2]马向国;顾文琪;.纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[3]董晓文;司卫华;顾文琪;.纳米压印光刻技术及其设备研制[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[4]田丰;韩立;顾文琪;.高能电子束纳米曝光系统的研制[A].第三届全国扫描电子显微学会议论文集.2003-11-01
更多