|
[1]顾宁;鲁武;沈浩瀛;陆祖宏;韦钰;田超杨;阚娅;刘泽文;.PMMA LB膜的高分辨X线刻蚀[J]高技术通讯.1993,(06)
|
|
[2]田扬超;刘刚;洪义麟;郭育华;熊瑛;阚娅;.LIGA实验站的设计及应用[J]中国科学技术大学学报.2007,(Z1)
|
|
[3]江泽慧,任海青,胡一贯,刘刚,阚娅.木材断裂过程的研究[J]核技术.2000,(08)
|
|
[4]陈大鹏,刘刚,田扬超,胡一贯,阚娅,张新夷.电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺[J]微细加工技术.2000,(02)
|
|
[5]刘刚,田扬超,洪义麟,阚娅,张鹏,田学红,伊福廷.LIGA技术制造微流量计的研究[J]微细加工技术.2000,(04)
|
|
[6]洪义麟,田扬超,刘刚,付绍军,胡一贯,霍同林,陶晓明,阚娅.LIGA技术制作Fresnel波带片的研究[J]微细加工技术.1999,(01)
|
|
[7]田扬超，傅绍军，洪义麟，阚娅，陶晓明.深度同步辐射光刻初探[J]光学学报.1994,(04)
|
|
[8]刘泽文,田扬超,胡一贯,阚娅.同步辐射X射线光刻初步实验结果[J]科学通报.1994,(06)
|
|
[9]田扬超，胡一贯，刘泽文，阚娅.同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术[J]原子能科学技术.1994,(04)
|
|
[10]蒋迪奎,李贵和,刘泽文,殷立新,钱石南,阚娅,吴冠原.同步辐射光刻光束线的真空系统[J]真空科学与技术.1994,(03)
|
|
更多
|