洪义磷
【姓名】 洪义磷
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 技术制作,LIGA,光刻胶,图形,电铸,同步辐射光刻,金属层,图形质量,同步辐射,工艺过程,铸金,国家同步辐射实验室,实验室用,微细加工,非理想,微机械,会议论文集,中国科学技术大学,颗粒度,粘附力,
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】
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[1]田扬超，傅绍军，洪义磷，胡一贯.LIGA技术制作微细金属图形的研究[J]仪器仪表学报.1996,(S1)
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