韩一琴
【姓名】 韩一琴
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SiO_2薄膜,激发,喇曼,喇曼谱,散射谱,LPCVD,能隙态模型,晶硅薄膜,晶粒尺寸分布,权重函数,声子,晶粒,纳米,中国科技大学,研究生院,函数拟合,SiO2薄膜,光致发光,拟合,晶粒尺寸,纳米晶...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 北京
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[1]刘渝珍,石万全,韩一琴,刘世祥,赵玲莉,孙宝银,叶甜春,陈梦真.LPCVD氮化硅薄膜的室温可见光发射[J]半导体学报.2000,(05)
[2]刘世祥,刘渝珍,伍勇,石万全,陈志坚,韩一琴,刘金龙,张通和,姚德成.Si~+注入SiO_2薄膜的三个PL峰及其受RTA的影响[J]半导体学报.1999,(03)
[3]许怀哲,朱美芳,韩一琴,侯伯元.晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响[J]半导体学报.1997,(09)
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[1]冯勇;朱美芳;刘丰珍;刘金龙;韩一琴;.热丝助PECVD低温多晶硅薄膜制备的研究[A].中国第六届光伏会议论文集.2000-10-01
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