郇勇
【姓名】 郇勇
【职称】 研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;材料科学;外科学;
【研究方向】 实验固体力学
【发表文献关键词】 真空磁过滤电弧离子镀,纳米划痕,纳米压痕,Hopkinson杆,DLC膜,微加速度计,抗过载能力,固体润滑,微力学性能,GT35,摩擦性能,LPCVD,芯片,高量程,氮化钛,PECVD,氧化硅,纳米硬...
【工作单位】 中国科学院力学研究所
【曾工作单位】 中国科学院力学研究所;
【所在地域】 北京
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[10]郇勇;张泰华;杨业敏;.MEMS微悬臂梁键合强度的测试技术[A].庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(上).2007-08-20
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