魏煌
【姓名】 魏煌
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 直流辉光放电,甲烷和氢,氧杂质,混合气体,壁表面,分压强,真空室,放电清洗,沉积率,阴极鞘层,有效抽速,质谱仪,中国科学院,去除率,极限真空,高温烘烤,生成率,无碳,差分,化学反应,
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】
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[1]宁兆元,郑家林,张束清,魏煌,程珊华,程健.在甲烷和氢气的混合气体中的直流辉光放电清洗实验[J]真空.1987,(05)
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