盛艳亚
【姓名】 盛艳亚
【职称】
【研究领域】 物理学;核科学技术;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微波ECR等离子体,物理汽相沉积,汽相沉积,研究和应用,辅助物,等离子体,超导薄膜,等离子体物理研究所,英文,电离度,溅射镀,mate,射频放电,preS,ECR等离子体,method,蒸发镀膜,膜料...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 合肥
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[1]任兆杏,盛艳亚,史义才.微波ECR等离子体辅助物理汽相沉积技术[J]物理.1990,(08)
[2]任兆杏,盛艳亚,史义才,闻海虎,曹效文.微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用(英文)[J]中国核科技报告.1991,(00)
[3]任兆杏,盛艳亚.微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用[J]中国核科技报告.1991,(S3)
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