沈克明
【姓名】 沈克明
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 直流电弧设备,直流等离子体炬,金刚石薄膜,透光导电性,等离子,低气压,ECR微波等离子体反应溅射,ZnO薄膜,ECR技术,ZnO∶Al,等离子体电弧,感应耦合等离子体(ICP),压电性,磁控,低气,Z...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 安徽合肥
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[1]尤庆亮;汪建华;孟月东;舒兴胜;区琼荣;徐旭;沈克明;.Numerical Analysis of Plasma Initiated Polymerization[J]Plasma Science and Technology.2006,(04)
[2]刘峰;孟月东;任兆杏;沈克明;舒兴胜;.电感耦合等离子体(ICP)辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究[J]真空科学与技术学报.2007,(06)
[3]许沭华,任兆杏,沈克明.射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量[J]核聚变与等离子体物理.2004,(01)
[4]禹海军,龙继东,李勤,周符新,石金水,马冰,陈楠,荆小兵,沈克明,任兆杏.12MeVLIA轫致辐射靶面回流离子测量[J]强激光与粒子束.2004,(08)
[5]施昌勇,沈克明.溅射电压和铝掺杂对透明导电氧化锌薄膜性能的影响[J]稀有金属.2000,(02)
[6]许沭华,任兆杏,沈克明,翁坚.射频ICP离子源设计研究[J]真空科学与技术.2002,(04)
[7]汪建华,袁润章,沈克明,施昌勇,喻宪辉.电子回旋共振反应溅射制备ZnO膜的特性[J]武汉工业大学学报.1999,(01)
[8]王守国,邬钦崇,于书永,沈克明.磁控约束直流电弧设备的研制及放电特性[J]真空与低温.1997,(03)
[9]王守国，邬钦崇，谢纪康，沈克明.低气压下制备金刚石薄膜的研究[J]真空电子技术.1998,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]任兆杏;沈克明;孟月东;何整风;韩永江;.离子增强沉积薄膜及其离子源的研究[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01
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