匡靖安
【姓名】 匡靖安
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,微波等离子体化学气相沉积,微波等离子体,化学气相沉积,天线耦合,等离子体物理研究所,模式转换器,反应室,水冷却,耦合天线,真空,微波等离子体化学,水负载,薄膜样品,沉积装置,衍射光谱,石英...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】
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[1]吕庆敖,邬钦崇,隋毅峰,匡靖安,周永成,俞世吉,王守国.新型微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置[J]真空与低温.1998,(01)
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