范建兴
【姓名】 范建兴
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离轴照明,空间像,相干照明,照明方式,分辨率,环形照明,四极照明,离轴,离焦,曝光分辨率,位差,衍射方程,对比度,四极,入瞳,相干系数,衍射级,照明,斜照明,离焦量,
【工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所;
【所在地域】
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[1]周崇喜，林大键，冯伯儒，范建兴，崔铮.离轴照明成像研究[J]微细加工技术.1996,(02)
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