武锦华
【姓名】 武锦华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅薄膜,氢含量,非晶,色谱测定,淀积温度,气相,非晶硅,非晶硅薄膜,热释放,高纯氢,中国科学院,色谱法测定,U形,半导体,色谱法,晶硅薄膜,硅烷法,辉光放电,谱仪,放曲线,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]吕惠云,武锦华,尹恩华,刘昌灵,孔光临.气相色谱测定非晶硅薄膜中氢含量[J]半导体学报.1985,(03)
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