汪光川
【姓名】 汪光川
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 直拉硅单晶,石英,拉晶,硅单晶,层错密度,石墨,单晶,拉晶工艺,尾气,蒸气压,热化学反应,直拉单晶,单晶炉,气压,体层,原子,零流,拉制的单晶,工艺条件,硅表面,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]梁骏吾,黄大定,汪光川,尹恩华,杨雪珍.直拉硅单晶碳沾污的研究[J]半导体学报.1984,(01)
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