滕学恭
【姓名】 滕学恭
【职称】
【研究领域】 物理学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 LiGaO_2晶体,缺陷,腐蚀液,衬底材料,GaN薄膜,LiGaO2,晶格失配,腐蚀速度,腐蚀面,腐蚀坑,HNO3,电子器件,畴的生长,腐蚀图形,择优腐蚀,αAl2O3,MOCVD方法,光电子,蚀液,...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]滕学恭,段树坤.一种显示LiGaO_2晶体极性和缺陷的腐蚀液[J]人工晶体学报.2000,(S1)
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