孟宪光
【姓名】 孟宪光
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束刻蚀,离子源,离子束,放电室,等离子体密度,反应气体,宽束,多极场,氧分压,导流系数,模转换,加速电压,x射线,离子光学,Ar离子,选择比,空间电荷限制,等离子体电位,束流密度分布,精细图,掩模...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/2 0 0 0 4 329
中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]金维新,孟宪光,尤大伟,胥兴才.反应离子束刻蚀及其应用[J]半导体学报.1983,(01)
[2]尤大纬 ,孟宪光.加工用考夫曼宽束离子源技术概述[J]电工电能新技术.1984,(03)
更多