陈光辉
【姓名】 陈光辉
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 X光光刻监测系统,多层膜光栅,垂直位置,多层膜,软X射线,光栅周期,同步辐射,衍射效率,束线,X光光刻,北京同步辐射装置,均匀性,亚微米,单色器,探测器,贮存环,光栅,光斑均匀性,监测系统,衍射光,精...
【工作单位】 中国科学院高能物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院高能物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]赵籍九;王春红;雷革;孔祥成;王晓黎;李刚;岳柯娟;赵卓;刘佳;高文春;孔登明;马梅;乐琪;王金灿;徐广磊;陈光辉;许世富;黄松;薛鹏;刘姝;黄湘灏;胥蕙娟;.北京正负电子对撞机控制系统[J]原子能科学技术.2009,(S1)
[2]袁利祥,范正修,殷功杰,邵建达,易葵,崔明启,刘丽冰,缪建伟,陈光辉,沈孝良.亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究[J]物理学报.1995,(02)
[3]崔明启,刘丽冰,徐文轩,唐鄂生,吴坚武,王培玮,尹福廷,陈光辉.北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统[J]核电子学与探测技术.1992,(06)
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