牛晓滨
【姓名】 牛晓滨
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SiCN薄膜,计算机编程,CVD金刚石,HFCVD,α-Si3N4,膜生长,金刚石,金刚石生长,热丝CVD,中国科学技术大学,编程控制,灯丝电源,光谱,硅碳氮,CVD系统,SAED,物理系,时间分辨光...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]牛晓滨,廖源,常超,余庆选,方容川.热丝CVD生长SiCN薄膜的研究[J]无机材料学报.2004,(02)
[2]方容川,常超,廖源,叶祉渊,薛剑耿,王冠中,马玉蓉,尚乃贵,牛晓滨,王代冕,吴气虹,揭建胜.计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用[J]材料导报.2001,(01)
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