张淑荣
【姓名】 张淑荣
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 真空度,高真空机组,碳污染,抽气,升华泵,文献,中国科学院,排气规范,长时间,关键措施,结构设计特点,离子泵,表面处理,工艺技术措施,极限真空,表面积,氢气,电子学,极限压强,出气率,
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】
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[1]申功烈,李建平,张淑荣.一台快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组[J]真空科学与技术.1987,(03)
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