张博军
【姓名】 张博军
【职称】 工程师;
【研究领域】 自动化技术;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】 MEMS工艺工作
【发表文献关键词】 CCD摄象,空间成象,等离子体诊断,导热检测法,湿度,集成传感器,在线处理,永磁体阵列,MEMS执行器,激光等离子体,MEMS技术,MEMS,电铸,湿传感器,二维CCD,分析系统,湿度传感器,气压,有...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/14 4 14 1 41 1804
中国期刊全文数据库    共找到9篇
[1]王奇;赵湛;耿照新;方震;曾欢欢;张博军;.基于Si_3N_4薄膜的压力传感器[J]传感器与微系统.2006,(03)
[2]王奇;赵湛;曾欢欢;方震;张博军;.基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿[J]电子器件.2006,(03)
[3]张博军,赵湛,陈绍凤.MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[4]武宇,方震,赵湛,陈超,张博军.探空集成传感器设计[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[5]方震,赵湛,武宇,陈超,张博军.基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计[J]测控技术.2004,(03)
[6]武宇,赵湛,方震,张博军.基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[J]仪器仪表学报.2004,(S2)
[7]秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,夏善红.基于SU-8胶的微针执行器的研制[J]仪器仪表学报.2004,(S2)
[8]方震,武宇,赵湛,张博军.基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[J]仪器仪表学报.2004,(S2)
[9]成金秀,刘忠礼,淳于书泰,牟丹岷,温天舒,唐道源,崔俊明,朱国民,张多明,赵力行,赵宝强,张博军.在线激光等离子体空间成象分析系统[J]强激光与粒子束.1993,(02)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到5篇
[1]武宇;赵湛;方震;张博军;.基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[A].中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集.2004-06-30
[2]方震;武宇;赵湛;张博军;.基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[A].中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集.2004-06-30
[3]方震;赵湛;王奇;曾欢欢;王溢仲;张博军;.探空温湿压系统研制[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005-08-01
[4]王奇;赵湛;曾欢欢;方震;张博军;.基于MEMS技术的温湿压集成传感器[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005-08-01
[5]曾欢欢;赵湛;王奇;方震;张博军;.聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005-08-01
更多