毋正伟
【姓名】 毋正伟
【职称】
【研究领域】 自动化技术;航空航天科学与工程;无线电电子学;
【研究方向】 MEMS器件设计、MEMS加工技术和MEMS封装等方面的研究
【发表文献关键词】 微机械电子系统,微谐振梁,模态提取,同频干扰,谐振加速度计,微杠杠结构,差分输出,阳极键合,加速度传感器,体硅工艺,电容式,微机电系统,激振,硅谐振梁,有限元模拟分析,扭摆式,结构设计,谐振频率,测试...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]毋正伟;彭春荣;杨鹏飞;闻小龙;李冰;夏善红;.谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试[J]电子与信息学报.2015,(09)
[2]陈李;陈德勇;王军波;毋正伟;张明;.一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化[J]纳米技术与精密工程.2009,(03)
[3]史晓晶;陈德勇;王军波;毋正伟;刘磊;.一种新型微机械谐振式压力传感器研究[J]传感技术学报.2009,(06)
[4]陈李;陈德勇;王军波;毋正伟;张明;.高性能电磁式微机械振动环陀螺[J]光学精密工程.2009,(08)
[5]毋正伟;陈德勇;夏善红;.Si-玻璃阳极键合失效机理研究[J]微纳电子技术.2010,(10)
[6]毋正伟;陈德勇;杨苗苗;徐磊;.一种扭摆式硅微机械加速度传感器[J]传感器与微系统.2006,(08)
[7]陈健;陈德勇;王军波;杨苗苗;毋正伟;陈李;.微谐振传感器同频干扰的建模与消除[J]测控技术.2006,(08)
[8]杨苗苗;陈德勇;王军波;陈健;毋正伟;陈李;.微机械电容式加速度传感器测试电路研究[J]传感技术学报.2006,(06)
[9]陈健;陈德勇;王军波;杨苗苗;毋正伟;陈李;.微谐振梁的激振与拾振研究(英文)[J]传感技术学报.2006,(06)
[10]陈德勇;陈健;毋正伟;王军波;陈李;.一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析[J]微纳电子技术.2007,(Z1)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]陈德勇;陈健;毋正伟;王军波;陈李;.一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析[A].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007-08-01
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