唐晓虹
【姓名】 唐晓虹
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 镁硅混合膜,电子温度,混合膜,复合靶,电子谱,磁控溅射,线法,溅射,制备工艺,单取向,沉积速率,高温高密度,等离子体物理,溅射率,中国工程物理研究院,等离子体电子,面积比,四川绵阳,溅射装置,国家重点...
【工作单位】 中国工程物理研究院核物理与化学研究所
【曾工作单位】 中国工程物理研究院核物理与化学研究所;
【所在地域】 四川绵阳
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[1]许华,吴卫东,陈志梅,唐晓虹,黄勇,唐永建.用于等电子谱线法诊断电子温度的Mg/Si混合膜制备工艺研究[J]原子能科学技术.2002,(Z1)
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