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[8]彭开武,顾文琪,张福安,吴桂君.缩小投影电子束曝光系统的成像反差[J]微细加工技术.2002,(03)
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[10]史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用[J]微细加工技术.2002,(03)
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