阎剑龙
【姓名】 阎剑龙
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,成像系统,计算程序,束流,物镜,缩小倍数,束斑直径,球差,光阑,透镜,聚光镜,色差,极靴,磁分布,束斑,磁标位,像距,束径,六硼化镧,数据文件,
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】
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[1]阎剑龙,王理明.0.1微米电子束曝光机成像系统的计算[J]微细加工技术.1999,(01)
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