田丰
【姓名】 田丰
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 电子束曝光技术研究
【发表文献关键词】 化学放大胶,曝光系统,高能电子束,扫描电子束,抗蚀剂,电子束曝光,电子束光刻,纳米加工,纳米,曝光技术,透射电镜,纳米图形,曝光机,电子束光刻技术,工件台,透射电子显微镜,纳米级,曝光实验,邻近效应,...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]田丰,韩立,顾文琪.高能电子束纳米曝光系统的研制[J]电子显微学报.2003,(06)
[2]田丰,韩立,杨忠山.化学放大胶在电子束光刻技术中的应用[J]微纳电子技术.2003,(12)
[3]田丰,靳鹏云,彭开武,韩立,顾文琪.高能电子束曝光技术研究[J]微细加工技术.2004,(04)
[4]彭开武,田丰.纳米级高压扫描电子束曝光技术[J]微纳电子技术.2005,(05)
[5]杨忠山;范子坤;田丰;韩立;.电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件[J]压电与声光.2005,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]田丰;韩立;顾文琪;.高能电子束纳米曝光系统的研制[A].第三届全国扫描电子显微学会议论文集.2003-11-01
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