电子束加工组
【姓名】 电子束加工组
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束,掺杂机理,热效应,红外双色测温仪,杂质,电子束辐照,电效应,填隙原子,结层,散焦,温升,表面杂质,束斑,辐照,小单元,低能电子束,温度,半导体表面,扩散理论,点源,
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】
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[1]李秀琼,孙慧龄,王培大,电子束加工组.电子束掺杂机理初探[J]微细加工技术.1986,(04)
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