高家法
【姓名】 高家法
【职称】
【研究领域】 核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 变间距光栅,刻线密度,测量系统,测试系统,性能评价,光栅,光束线,衍射测量,凹面光栅,测量精度,国家同步辐射实验室,样品测量,线密度,刻线,衍射角,球面光栅,精密转台,误差,同步辐射装置,衍射法,
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]陈锵,胡中文,余小江,高家法,王秋平,王琪民.变间距光栅刻线密度测试系统的性能评价[J]核技术.2004,(01)
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