张燕陵
【姓名】 张燕陵
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 C轴取向,多极场,ZnO薄膜,等离子体,ECRM,英文,等离子体物理研究所,profile,have,多极磁场,method,磁场形态,reactive,E-CRM,反应溅射法,中国科学院,Nd-Fe...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 合肥
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[1]宁兆元,张燕陵,任兆杏,肖毓晋,李向群.用ECR多极场等离子体在室温基片上制备的具有C轴取向的ZnO薄膜<英文>[J]中国核科技报告.1992,(00)
[2]宁兆元,张燕陵.用ECR多极场等离子体在室温基片上制备的具有C轴取向的ZnO薄膜[J]中国核科技报告.1992,(S3)
[3]张燕陵;宁兆元;任兆杏;.室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜[J]科学通报.1993,(07)
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