肖毓晋
【姓名】 肖毓晋
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 C轴取向,多极场,ZnO薄膜,ECRM,等离子体,英文,等离子体物理研究所,profile,have,method,reactive,中国科学院,多极磁场,磁场形态,const,反应溅射法,Nd-Fe...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 合肥
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[1]宁兆元,张燕陵,任兆杏,肖毓晋,李向群.用ECR多极场等离子体在室温基片上制备的具有C轴取向的ZnO薄膜<英文>[J]中国核科技报告.1992,(00)
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