程绍玉
【姓名】 程绍玉
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Si_3N_4薄膜,等离子体源,钝化,电子回旋共振,环境模拟器,电离层,离层,PCVD,ECR等离子体,电子温度,微波,微电子器件,双探针,磁镜,子体,等离子体物理研究所,等离子体参数,高能粒子,环境...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 合肥
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[1]吕庆敖,任兆杏,梁荣庆,程绍玉.用于电离层环境模拟器的ECR等离子体源[J]真空科学与技术.2001,(03)
[2]程绍玉,任兆杏.微波ECR-PCVD技术制备Si_3N_4薄膜的研究与应用[J]真空科学与技术.1998,(01)
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