赖勇建
【姓名】 赖勇建
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ITO膜,溅射,制备方法,生产线,透明导电,膜生产,膜的制备,基片架,直流磁控,电阻率,传动系统,真空室,溅射区,膜电阻,真空锁,工艺室,充气系统,膜质量,透明导电膜,透明导电玻璃,
【工作单位】 中国机械工业部沈阳真空技术研究所
【曾工作单位】 中国机械工业部沈阳真空技术研究所;
【所在地域】
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[1]赖勇建,王振东,杨森,刘忠贤,杜建华.ITO 膜的制备方法和 TD-360 型立式 ITO 透明导电膜生产线[J]真空.1998,(01)
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