王造志
【姓名】 王造志
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 焦深,离轴照明,分辨力,二元光栅,二元光栅照明,环形照明,照明,离轴,光源,分辨力和焦深,分辨力提高,能量利用率,光瞳,四极照明,数值孔径,投影光刻,倾斜（离轴）照明,四极,位差,图形分辨力,
【工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所;
【所在地域】
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[1]罗先刚,陈旭南,姚汉民,王造志,潘丽,郭黎.离轴照明研究[J]光电子·激光.1998,(06)
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