罗先刚
【姓名】 罗先刚
【职称】
【研究领域】 物理学;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 微电子光刻研究
【发表文献关键词】 二元光栅照明,焦深,离轴照明,成象特性,光刻系统,分辨力,二元光栅,传递函数,光强度,环形照明,照明,光强分布,离轴,光源,分辨力和焦深,分辨力提高,能量利用率,光瞳,四极照明,数值孔径,投影光刻,倾...
【工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院成都光电技术研究所;
【所在地域】 四川成都
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[1]罗先刚,姚汉民,陈旭南,冯伯儒.二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响[J]光电工程.2000,(03)
[2]罗先刚,陈旭南,姚汉民,王造志,潘丽,郭黎.离轴照明研究[J]光电子·激光.1998,(06)
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[1]杜春雷;罗先刚;.基于亚波长金属结构的纳光子功能器件[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
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