于利民
【姓名】 于利民
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 灰度掩模,二元光学元件加工,衍射光学元件,激光直写,二元光学,灰度,掩模技术,二元光学元件,电子束直写,浓淡点图,衍射效率,直写,二元掩模,掩模制作,光刻胶,精密光学,光掩模,掩模法,透镜阵列,连续浮...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 长春
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 0 32 324
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]李红军,李凤有,于利民,曹颖静,卢振武,廖江红,翁志成.灰度掩模技术[J]微细加工技术.2000,(01)
更多