伦凤艳
【姓名】 伦凤艳
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】 集成微光机电系统的研究
【发表文献关键词】 振动传感器,悬臂梁,光波导,聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA),灵敏度,聚甲基丙烯酸甲酯,旋涂,干法刻蚀,设计与制作,质量块,多模干涉耦合器,集成光路,制作工艺,微光,折射率,工作原理,结构材料,刻蚀技术,...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 北京长春
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[1]伦凤艳;张平;高福斌;贾宏光;.微光机械振动传感器的设计与制作[J]微细加工技术.2006,(01)
[2]张平;伦凤艳;王淑荣;高福斌;.集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究[J]半导体光电.2006,(04)
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