冯群
【姓名】 冯群
【职称】
【研究领域】 电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子源,弧流,溅射,磁场电源,重离子源,比较放大器,等离子源,磁场线圈,灯丝电流,阳极电源,灯丝电源,连续可调,自动控制系统,阳极,离子注入机,负反馈系统,取样电阻,全元素,光电耦合器,离子注入,
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】
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[1]乔东生,阎秀英,冯群.HDS离子源电源[J]微细加工技术.1987,(Z1)
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