张键辉
【姓名】 张键辉
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 质量分离低能离子束,离子轰击,非晶碳,质量分离,低能离子束,沉积碳,半导,科学实验室,体材料,偏压预处理,外来离子,沉积技术,中国科学院,非晶,半导体,深度谱,金刚石,生长点,非晶碳膜,碳薄膜,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]廖梅勇,张键辉,秦复光,刘志凯,杨少延,王占国,李述汤.质量分离低能离子束沉积碳膜及离子轰击效应[J]物理学报.2000,(11)
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