吴春武
【姓名】 吴春武
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子沟道,异质结,沟道,离子束混合,硅化物,外延层,离子注入,底沟,As离子注入,InGaAs/GaAs,Si系,粒子,背散射,角扫描,GaAs,产额,混合层,临界角,角宽,铂膜,晶格失配,扭折,沟道...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]吴春武,殷士端,张敬平,肖光明,刘家瑞,朱沛然.InGaAs/GaAs应变异质结中的反常离子沟道效应[J]物理学报.1989,(01)
[2]殷士端,吴春武,张敬平,刘家瑞,朱沛然.In_(0.25 )Ga_(0.75)As/GaAs应变异质结的离子沟道分析[J]半导体学报.1989,(01)
[3]吴春武,殷士端,张敬平,范缇文,刘家瑞,朱沛然.Ni/Si,Pt/Si,Ir/Si系的As离子注入和退火[J]半导体学报.1989,(09)
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