孙慧玲
【姓名】 孙慧玲
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束,氮离子,掺磷,高剂量,俄歇,结深,深度谱,俄歇谱,x光电子能谱,氮化硅,高阻层,平面二极管,随机谱,背散射,电子束辐照,菊池线,电于束,衍射图案,离子注,损伤谱,硅结,电子能,高斯分布,沟道技...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]孙慧玲,陈鸣,王培大.硅中注入高剂量氮离子的研究[J]半导体学报.1982,(02)
[2]李秀琼,孙慧玲,王培大.电子束掺杂磷[J]半导体学报.1984,(01)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]韩和相;汪兆平;李国华;王培大;孙慧玲;.掺稀土半导体的喇曼光谱[A].中国物理学会光散射专业委员会成立十周年暨第六届学术会议论文集（上）.1991-10-01
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