壬治璋
【姓名】 壬治璋
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 质量分离,低能离子束,外延层,硅单晶,硅外延,外延,过渡区,自掺杂,科学实验室,硅外延层,体材料,电学性质,离子流,CVD工艺,扩展电阻,薄硅,双晶衍射,低能离子,分离谱,底表面,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]黄大定,姚振钰,壬治璋,王向明,刘志凯,秦复光.质量分离低能离子束外延超薄硅单晶的初步研究[J]半导体学报.1993,(08)
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