秦复光
【姓名】 秦复光
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 低能离子束,薄膜淀积,β-FeSi_2,质量分离,外延膜,外延法,外延层,硅单晶,离子束外延,失配度,硅外延,外延生长,β-FeSi_2,外延,低温外延,硅化钴(CoSi_2)薄膜,离子束反应淀积,半...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]廖梅勇,张键辉,秦复光,刘志凯,杨少延,王占国,李述汤.质量分离低能离子束沉积碳膜及离子轰击效应[J]物理学报.2000,(11)
[2]姚振钰,贺洪波,柴春林,刘志凯,杨少延,张建辉,廖梅勇,范正修,秦复光,王占国,林兰英.在p-Si(100)上溅射法生长ZnO的结构和光学特性[J]功能材料与器件学报.2000,(04)
[3]廖梅勇,秦复光,柴春林,刘志凯,杨少延,姚振钰,王占国.离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响[J]物理学报.2001,(07)
[4]吴正龙,姚振钰,刘志凯,张建辉,秦复光,林兰英.图形衬底上硅区双离子束选择淀积Co研究[J]半导体学报.1999,(11)
[5]李慧,马辉,丁维清,秦复光.Si(111)衬底上IBE法外延生长β-FeSi_2薄膜的研究[J]半导体学报.1997,(04)
[6]吴正龙,杨锡震,秦复光.离子束外延β-FeSi_2/Si薄膜的电子能谱研究和表征[J]北京师范大学学报(自然科学版).1998,(02)
[7]吴正龙,姚振钰,张建辉,刘志凯,秦复光.在Si(111)上外延生长硅化钴薄膜的SEM和XPS研究[J]北京师范大学学报(自然科学版).1998,(04)
[8]秦复光,王向明,杨光荣,林兰英.在Si上的离化团束外延Ge[J]半导体学报.1984,(02)
[9]杨光荣;王向明;秦复光;.部分离化束法的Si—Si同质结外延[J]仪表材料.1984,(02)
[10]杨光荣,王向明,秦复光.在蓝宝石上低温外延硅[J]半导体学报.1985,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到5篇
[1]廖梅勇;刘志凯;柴春林;杨少延;秦复光;姚振钰;王古国;.低能离子束技术制备纳米碳管初探[A].第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集.2000-11-01
[2]杨少延;柴春林;廖梅勇;刘志凯;姚振钰;秦复光;王占国;.GaN蓝光材料新型外延衬底ZnO/Si的低能O~+离子束辅助PLD法生长[A].2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集.2000-06-30
[3]杨少延;柴春林;刘志凯;廖梅勇;姚振钰;秦复光;王占国;.低能O~+离子束辅助PLD法外延生长ZnO薄膜[A].第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集.2000-11-01
[4]杨少延;柴春林;刘志凯;廖梅勇;姚振钰;秦复光;王占国;.ZnO薄膜的IBA-PLD法外延生长研究[A].第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集.2001-10-01
[5]秦复光;姚振钰;江海;刘志凯;黄大定;林兰英;武国英;郝一龙;李志宏;张国炳;陈文茹;顾页;.在有图形衬底上COSi_2的选择生长[A].第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1995-10-23
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