彭勃
【姓名】 彭勃
【职称】 研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;无机化工;
【研究方向】 MEMS惯性器件的研发
【发表文献关键词】 静电伺服,微加速度传感器,硅加速度计,阳极键合,力法,微弱信号检测,加速度计,硅电极,结构刚度,叉指,系统设计,高冲击,加速度传感器,微机械传感器,失效模式,微机械,激光技术,激光精密切割,石英玻璃薄...
【工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所
【曾工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【所在地域】 四川绵阳
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/38 11 13 5 118 4028
中国期刊全文数据库    共找到19篇
[1]张照云;唐彬;彭勃;陈颖慧;熊壮;苏伟;.一种牺牲层工艺中金属电极保护方法研究（英文）[J]电子器件.2017,(01)
[2]张照云;苏伟;唐彬;高杨;熊壮;陈颖慧;彭勃;.Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性[J]中国惯性技术学报.2017,(02)
[3]袁明权;唐彬;孙远程;熊壮;彭勃;.基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器[J]传感器与微系统.2016,(03)
[4]戴强;苏伟;张德;彭勃;蒋刚;.三明治型微加速度计温度漂移封装胶关系研究[J]太赫兹科学与电子信息学报.2015,(01)
[5]张照云;施志贵;张慧;彭勃;.高性能微惯性器件单片集成技术[J]太赫兹科学与电子信息学报.2014,(04)
[6]唐彬;陈颖慧;彭勃;袁明权;李枚;周浩;.后退火处理对电容式MEMS微加速度计的影响[J]微纳电子技术.2013,(03)
[7]唐彬;袁明权;彭勃;佐藤一雄;陈颖慧;.单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展[J]微纳电子技术.2013,(05)
[8]戴强;苏伟;张德;彭勃;杨林;.硅三明治型微机械加速度计温度漂移与敏感结构热膨胀关系研究[J]中国机械工程.2013,(19)
[9]张照云;施志贵;高杨;席仕伟;彭勃;.金属电极的腐蚀特性研究[J]传感技术学报.2012,(03)
[10]李枚;代刚;唐海林;何晓平;彭勃;.一种高动态使用微惯性测量单元的实现[J]中国惯性技术学报.2012,(02)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]何晓平;彭勃;苏伟;.叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解[A].2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集.2000-07-01
更多