何晓平
【姓名】 何晓平
【职称】 研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;航空航天科学与工程;
【研究方向】 惯性传感器与MEMS技术研究
【发表文献关键词】 静电伺服,微加速度传感器,阳极键合,力法,微加速度计,微弱信号检测,硅微加速度传感器,加速度计,叉指,硅电极,有限元法(FEM),结构刚度,耦合场分析,准LIGA,加速度传感器,微机械,加速度开关,对...
【工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所
【曾工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【所在地域】 四川绵阳
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中国期刊全文数据库    共找到32篇
[1]何江波;谢进;何晓平;杜连明;周吴;.电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型[J]传感技术学报.2016,(01)
[2]彭鹏;彭倍;周吴;于慧君;曲昊;何晓平;.工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）[J]强激光与粒子束.2016,(06)
[3]何江波;谢进;何晓平;杜连明;周吴;.考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究[J]机械科学与技术.2016,(05)
[4]彭倍;周吴;李伦;于慧君;彭鹏;何晓平;.硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响[J]电子科技大学学报.2016,(04)
[5]何江波;谢进;何晓平;杜连明;周吴;.基于闭环灵敏度的微加速度计制造误差的评估[J]仪表技术与传感器.2015,(08)
[6]刘恒;张凤田;何晓平;苏伟;张富堂;.静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造[J]重庆大学学报.2011,(08)
[7]刘恒;何晓平;张凤田;苏伟;张富堂;.静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制[J]控制理论与应用.2011,(10)
[8]代刚;李枚;杜连明;何晓平;苏伟;邵贝贝;.微加速度计启动漂移特性研究与实验[J]传感技术学报.2011,(10)
[9]李枚;代刚;唐海林;何晓平;彭勃;.一种高动态使用微惯性测量单元的实现[J]中国惯性技术学报.2012,(02)
[10]刘恒;何晓平;杜连明;刘清惓;.一种梳齿力平衡式微加速度计[J]仪表技术与传感器.2012,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到4篇
[1]何晓平;彭勃;苏伟;.叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解[A].2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集.2000-07-01
[2]苏伟;何晓平;高杨;商顺昌;.几种微机电器件的研究与应用[A].中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆惯性技术学会第九次学术交流会论文集.2002-11-01
[3]文贵印;何晓平;.几种惯性加速度计的介绍[A].四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集.2005-10-01
[4]何高法;唐一科;何晓平;刘世明;.一种新型谐振式微加速度计设计和分析[A].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007-08-01
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